Waarom gebruik in de gate poly?

Y

yousoo

Guest
I `m studeren [IC Layout Basics] blz. 134 - Aansluitschema met poly

Ik heb een vraag.

Waarom poort gebruiken in poly?geen metal?

 
hoi,
de poort van de MOSFET gebruik poly in plaats van metaal, zodat de MOS structuur is zelf aangepast.Om uit te leggen wat er zelf afgestemd structuur aannemen dat we gebruiken voor het maken van metalen hek.Hiervoor moeten we eerst doen de source / drain verspreiding en vervolgens de metalen laag.Nu op doen zodat het metalen hek mag niet worden perfect afgestemd op de bron-en afvoer diffusies en in het ergste geval kan het dus gebeuren dat de metalen poort niet kan worden samenloop met source / drain gevolg van slechte afstemming.Dit degradeert de prestaties van de MOS en ik denk dat kan niet werken als een MOS niet.Dus inorder om dit probleem wat ppl gebruikt om te doen tijdelijke oplossing was om de poort lengte en daarbij te zorgen dat de poort overlappen met bron en afvoer diffusies zal hebben.Nu is deze methode was een kwestie die de gate / source overlapping capaciteit was huge hier invloed zijn op het ontwerp.Ook zeer kleine kanaal lengtes was hier niet mogelijk.
Als we poly dan wat we doen is dat we eerst poly poorten groeien op de siliciumoxide en op de top van dat we zullen doen diffusie.Dit zorgt ervoor dat de poly perfect alligned met de bron en afvoer diffusie en ook shoter kanaal lengtes met minder gate / source overlapping capaciteit mogelijk wordt gemaakt.Voor een meer gedetailleerde uitleg verwijzen Razavi ...

hoop dat dit helpt.
fred

 
wanneer u gebruik van metaal als poort, kunt u niet selfaligned S, D implantaat, coz wanneer u te doen, de S, D DriveIn zal smelten de metalen hek (al poort), dus u hoeft te doen, de S, D implantaat en DriveIn (gloeien), eerste vervolgens poort depositie.

 
hi leohart,
Bedankt voor de verklaring voor waarom we cant use metaal voor zichzelf uitlijnen.Ik was niet zeker over.

Rgds
fred

 
hoi!

polysilicium heeft een veel hoger smeltpunt ten opzichte van metalen en dat zal alllow gloeien bij hogere temperatuur voor metalen depositie.

- AlToegevoegd na 3 minuten:hoi

en ...annealing temperaturen zijn meestal hoger dan de metalen meltign punt zodat je kunt niet gloeien een micro-circuit na metaal is neergelegd.Ü

- Al

 
fredflinstone wrote:

Voor een meer gedetailleerde uitleg verwijzen Razavi ...fred
 
hi Julian,
Ik zei aan Razavi boek pagina nr. 613 verwijzen voor info over zelf afgestemd MOS strcuture.Sorry voor het creëren van verwarring.
sante
fred

 
Ik denk dat het beschikbaar is ergens op internet, misschien dit forum.

Probeer het zoeken

 
You must log in or register to reply here.

Welcome to EDABoard.com

Sponsor

Back
Top