Wat is een ondiepe greppel??

G

gayaneg

Guest
Hi! Kan iemand mij vertellen, wat is een ondiepe greppel isolatie? En het doel ervan. Dank bij voorbaat!
 
Dit is een manier isoleren structuren op een substraat, bijvoorbeeld een NMOS en een PMOS. Zo verdient de voorkeur boven LOCOS, omdat het een minimaal oppervlak.
 
STI wordt meestal gebruikt in 0,25 0,18 en 0,13 micron proces.
 
aan de geringe breedte effect dat we genrally doen de ondiepe greppel isolatie regrds manis verminderen
 
De vulling van de geul te introduceren lokale laterale mechanische belasting. Dus met
 
wat bedoeld wordt met geringe breedte effect ...? Bij voorbaat dank
 

Welcome to EDABoard.com

Sponsor

Back
Top