Wat 65nm DFM Rules.

[omsi]

Hallo,
Ik ben bezig met UMC65nm process.I krijg de fout DFM als volgt:

POLY1 poorten met een breedte <= 0.08um niet over TG moet passen een richting.
Horizontale richting wordt de voorkeur.

Kan iemand vertellen waarom deze poort oriëntaties zijn gevraagd te volgen in horizontale?
Is er een probleem fabriceren of reden voor dat?

Please reply,
Thanks in advance,
Omsi.

 

[leohart]

Dit is zo gedetailleerd vraag, waarom niet gewoon vragen hun technische supporter als je de PDK kunt krijgen?

 

[bg21359]

Het betekent dat uw poly over de verspreiding kan slechts een richting, en de voorkeur op horizontaal.Deze eis is voor het afdrukken exacte smalle poly op 65nm node

 

[psmon]

Alle poorten moeten worden aangepast in een richting ...het is een kwestie lithografie.