oxide dikte variatie (TOX)

[evilguy]

Hi, kan iemand mij vertellen, hoeveel procent van de variatie van de dikte oxide heel hoek.Ik weet het, is het verschil tussen proces.maar kan iemand mij papieren verstrekken over het onderzoek van oxide dikte tussen proces.Ik wil graag lezen van een artikel over de vergelijking van oxide dikte variatie tussen proces zoals TSMC, IBM, enz. Als het papier focus op 90nm is beter voor mij.bedankt

 

[raduga_in]

Hoi,

Zie deze discussie op
http://www.edaboard.com/viewtopic.php?t=219085

Alle papieren specifiek bespreken de verschillen
van de huidige vanwege U0 en T0x variatie en
hun effect op de huidige afvoer van MOS.

Groeten

Raduga

 

[wallycharlo]

Als u toegang tot kruiden modellen van de processen die u lookin at, dan moeten een kijkje nemen in de bestanden, zal u meestal vinden wat u zoekt binnen

 

[evilguy]

wallycharlo wrote:

Als u toegang tot kruiden modellen van de processen die u lookin at, dan moeten een kijkje nemen in de bestanden, zal u meestal vinden wat u zoekt binnen