Over vlakke Inductor

[Beardolphinaries]

Hoi, ik heb een vraag over de lay-out van vlakke inductor.

Wat doet de echte kruis zittingen oog eruit?Ik trek een ontwerp van het uitzicht.

1.Is de k = 8,1 dunne lagen (blauw) nog steeds gemaakt voor metaal 5 en 6, waar spoel is lay-out?

2.Hoe zit het met de laag van metaal 1,2,3,4?Er zijn geen metalen in deze laag, zodat de soortgelijke dunne hoge k lagen (blauwe stippellijn) op boven-en onderkant van metalen presenteert nog of niet?

4.Is de poly (patroon grond schild) op de ondergrond direct?of er behoefte aan een oxide zoals ingediend oxidelaag (groen).

3.is de K = 7 lagen (rood) altijd rond poly tracks?Zo ja, dan hoe ze in het model van advertenties?

4.Is de poly (patroon grond schild) op de ondergrond direct?of er behoefte aan een oxide zoals ingediend oxidelaag (groen).

Thanks a lot.

 

[kspalla]

kunt model met cond, cond2 en vias

 

[Beardolphinaries]

Thanks a lot.
Maar ik weet niet of het nitride laag met K = 8.1 (blauw) is nog steeds gefabriceerd zelfs als ik niet metalen 1,2,3,4 gebruiken voor inductor ontwerp?

soortgelijke verwarring over de nitride laag rond polysilicium.

Of kunnen deze hoge K lagen worden genegeerd omdat ze te dun zijn (<100 nm)?

Thanks a lot.