Fiche weerstand van metalen

[Dinesh Hegde]

Hoi,
Waarom vel weerstand van matsl varieert als de breedte van metaal toeneemt.(Volgens de theorie blad resistentie moet constant blijven).
Redenen die ik kon bedenken,
1.Dikte variatie als gevolg van CMP.
2.Breedte reductie factor kan verschillend zijn voor verschillende breedte van metalen.

Groeten,
Dinesh

 

[erikl]

Ik denk dat uw 2.item juist is: Maar niet het "verschil" van de "reductie factor" (met inbegrip van onder-ets, een optische resolutie van fouten en andere proces-afhankelijke afwijkingen), maar de constante bijdrage, die door dit leidt tot de breedte-afhankelijkheid.

Voor zeer kleine structuur maten, kan ook de breedte-afhankelijke relatieve (negatief tellen) deel van de niet-geleidende oxide huid (Al2O3 op Al) dragen bij tot dit effect (breedte-afhankelijkheid als gevolg van de relatief verschillende "bijdrage" van de kant geoxideerd muren).

 

[Dinesh Hegde]

Sorry, ik kon niet begrijpen tweede punt.Leg meer.

 

[erikl]

Dinesh Hegde wrote:

Sorry, ik kon niet begrijpen tweede punt.
Leg meer.

 

[sandeep_torgal]

Dinesh,
Ik vind het te wijten aan het CMP (chemische mechanisch polijsten).De koperen lijnen lijden dishing en erosie als gevolg van CMP.Vandaar het blad weerstand varieert.Laat me weten als je nog steeds onduidelijk.

Groeten,
Sandeep

 

[Dinesh Hegde]

Ik voel me zowel van de punten voor deze bijdragen.Bedankt.

Groeten,
Dinesh