als lay-out, wat gebeurt er met de metalen draad doorheen devece

[huangjw]

Hallo allemaal, 1. als metalen draad gaan door de overeenkomende MOSFET, hoeveel invloed op de nauwkeurigheid? 2. Als de metalen draad is symmetrisch met betrekking tot afgedekte MOSFET, hoeveel invloed op de nauwkeurigheid? 3. hoe zit het met poly weerstand. dank.

 

[bellona]

Routing van de metalen draad van invloed op de matching door stress gradiënt en hydrogenering, en ik denk dat het een beetje thermische gradiënten te veranderen dan als er geen. Metaaldraad mag geen route over MOSFET actief gebied als exact matching nodig is. En de bedrading grenzend aan gekoppeld MOSFET moet worden gehouden symmetrisch. Dezelfde regel geldt voor poly weerstanden ook. Deze kwesties zijn bedekt in detail beschreven in Alan Hastings's 'The Art of Analog Layout'.

 

[huangjw]

maar infact, in veel proces, de vulstof zal worden toe te voegen in, kan het ook gaan door het apparaat. als ik geen gebruik maken van eerste metalen, maar vooral het gebruik van metalen 2ED, is het beter

 

[bellona]

Voor de hydrogenering, omdat de waterstof vergoeding wordt geïntroduceerd aan het einde van het proces bij de vorming van metaal-systeem voltooid is, maakt het niet zoveel uit welke laag het metaal zich bevindt hogere laag metaal zou minder stress verloop, dat ik niet te introduceren zeker.

 

[huangjw]

bedankt, Bellona, ​​dan kunt u deze uploaden IEEE paper "Effecten van metaal-dekking op MOSFET matching" dank je wel!

 

[dick_freebird]

Als je moet route door, gewoon doorsturen zodanig dat alle apparaten hetzelfde metaal dekking te zien.

 

[bellona]

goed, doet het experiment in de bovengenoemde papieren laten zien dat metaal 2 heeft veel minder invloed op de matching dan metaal 1 hebben. Zoals uitgelegd door de auteurs in 'Karakterisering van Systematic MOSFET Current Factor Mismatch Veroorzaakt door Metal CMP Dummy Structures' een ander papier, wordt mismatch veroorzaakt door de drempel mismatch geïntroduceerd door hydrogenering en vervoerder mobiliteit mismatch geïntroduceerd door stress gradiënt.

 

[huangjw]

ja, je upload de krant? bedankt